클 로 로 실 란 는 활성 수 소 를 함유 한 화합물 과 격렬 한 반응 을 일 으 키 는 화학품 이다.
- 염소 실 란 은 물, 알코올, 페놀, 실리콘 알코올, 유기산 등 활성 수 소 를 함유 한 화합물 과 격렬 한 반응 을 일 으 켜 염화 수 소 를 방출 할 수 있다.유기 금속 화합물 과 반응 할 때 염소 원 자 는 해당 하 는 유기 기단 에 의 해 대체 되 어 유기 염소 실 란 이나 유기 실 란 을 형성한다.
는 실리콘 외연 웨이퍼 생산 중의 실리콘 소스 와 유기 염소 실 란 을 제조 하 는 원료 로 쓰 인 다.
융점 은 - 118 DHS C 이 고 비등점 은 4 DHS C 이 며 증 기압 은 4920 MMHG (25 ℃) 이다.
- 염소 실 란 은 물, 알코올, 페놀, 실리콘 알코올, 유기산 등 활성 수 소 를 함유 한 화합물 과 격렬 한 반응 을 일 으 켜 염화 수 소 를 방출 할 수 있다.유기 금속 화합물 과 반응 할 때 염소 원 자 는 해당 하 는 유기 기단 에 의 해 대체 되 어 유기 염소 실 란 이나 유기 실 란 을 형성한다.
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는 실리콘 외연 웨이퍼 생산 중의 실리콘 소스 와 유기 염소 실 란 을 제조 하 는 원료 로 쓰 인 다.
융점 은 - 118 DHS C 이 고 비등점 은 4 DHS C 이 며 증 기압 은 4920 MMHG (25 ℃) 이다.